豊田工業大学

支援課題一覧(平成20年度)

平成19年度支援課題一覧(公開猶予分)

課題番号支援機能名業務形態名実施課題名成果報告
07-03 超微細加工 送致利用 ナノ結晶制御型高品質結晶化Si形成 詳細
07-04 超微細加工 技術代行
装置利用
プラズマCVDによる薄膜成膜 詳細
07-05 超微細加工 装置利用 側面へのパターニング技術 詳細
07-06 超微細加工 技術代行
装置利用
微小面積薄膜のレーザー加熱による変形 詳細
07-07 超微細加工 技術代行
装置利用
超微細加工技術を用いたマイクロ流路チップの開発 詳細
07-10 超微細加工 協力研究 高分解プローブ顕微鏡による薄膜表面の構造評価 詳細
07-11 超微細加工 技術相談 立体サンプルのフォトリソグラフィ技術に関する相談 -
07-12 超微細加工 装置利用 鉄系シリサイド形成に関する研究 詳細
07-14 超微細加工 技術相談 カーボンナノチューブ深針作製に関する相談 -
07-16 超微細加工 装置利用 多結晶シリコンデバイスのための酸化メカニズムに関する研究 詳細

平成20年度支援課題一覧

課題番号支援機能名業務形態名実施課題名成果報告
08-01 超微細加工 協力研究 多結晶シリコン基板へのpnダイオード作製 詳細
08-02 超微細加工 協力研究 可視光用超高速空間光変調器の研究開発 詳細
08-03 超微細加工 技術相談
装置利用
結晶シリコン太陽電池用受光面銀ペーストの焼成挙動について 詳細
08-04 超微細加工 技術代行
装置利用
ナノレベルで膜厚を制御した透明導電膜の光学的特性評価 詳細
08-05 超微細加工 技術代行
装置利用
プラズマCVD法による薄膜作成と構造評価 詳細
08-06 超微細加工 技術代行
装置利用
(公開猶予) -
08-07 超微細加工 技術代行
装置利用
電子線ビーム露光技術と組み合わせたナノ粒子パターン配置技術の開発 詳細
08-08 超微細加工 技術代行
装置利用
超微細加工技術を用いたマイクロ流路チップの開発 詳細
08-09 超微細加工 技術代行
装置利用
(公開猶予) -
08-10 超微細加工 装置利用 (公開猶予) -
08-11 超微細加工 技術代行 (公開猶予) -
08-12 超微細加工 装置利用 (公開猶予) -
08-13 超微細加工 協力研究 垂直壁側面へのパターニング技術 詳細
08-14 超微細加工 技術相談 (公開猶予) -
08-15 超微細加工 協力研究 プローブ顕微鏡を用いた物性測定 詳細
08-16 超微細加工 装置利用 磁気記録用パターン媒体の研究 詳細
08-17 超微細加工 装置利用 鉄?コバルト系シリサイド形成に関する研究 詳細
08-18 超微細加工 装置利用 (公開猶予) -
08-19 超微細加工 装置利用 (公開猶予) -
08-20 超微細加工 技術代行
装置利用
ナノ構造半導体薄膜の作製 詳細
08-21 超微細加工 装置利用 (公開猶予) -
08-22 超微細加工 協力研究 InAs量子ドットを電極としたナノショットキーダイオードの理想係数 詳細
08-23 超微細加工 装置利用 (公開猶予) -
08-24 超微細加工 技術代行
装置利用
(公開猶予) -
08-25 超微細加工 技術代行
装置利用
(公開猶予) -
08-26 超微細加工 技術代行 FETデバイス基板の試作 詳細
08-27 超微細加工 装置利用 触媒ナノ粒子を用いたCVD膜中残留応力制御 詳細
08-28 超微細加工 協力研究 a-SiNx:H/Si界面特性の面方位依存性 詳細
08-29 超微細加工 技術代行
装置利用
太陽電池特性評価技術の習得 詳細
08-30 超微細加工 装置利用 (公開猶予) -
08-31 超微細加工 装置利用 (公開猶予) -
08-32 超微細加工 技術代行 レジストマスクによるリン、砒素のイオン注入 詳細
08-33 超微細加工 技術相談
装置利用
新規プローブの開発 詳細
08-34 超微細加工 協力研究 ポテンシャルマッピング用量子構造試料作製 詳細
08-35 超微細加工 装置利用
協力研究
次世代メモリ用材料GeSbTe薄膜のCVD成膜 詳細
08-36 超微細加工 技術代行 (公開猶予) -
08-37 超微細加工 協力研究 分光機能を持つMEMS赤外線センサ 詳細
08-38 超微細加工 技術相談 (公開猶予) -
08-39 超微細加工 協力研究 エンジニアリングプラスチックスの成形加工物の残留歪解析 詳細
08-40 超微細加工 装置利用 光ファイバー材料の吸発光特性 詳細